工場の設備の予知保全のためのシステム、東京エレクトロン デバイスが発売

　東京エレクトロン デバイス（TED）が2020年6月16日に発売した「CX-D」は、工場の設備の状態を監視し予知保全を実現するためのシステム。工場の設備に接続したPLC（Programmable Logic Controller）やセンサーからのデータをAI（人工知能）で分析することで、状態の変化や異常を検知する（図1）。

図1：「CX-D」は複数の設備をダッシュボードからまとめて監視できる。判別モデル自動生成マシン「CX-M」と連携すれば、設備の状態診断が可能になる

　CX-Dは、設備の通常稼働時のデータを学習することで、稼働状態の変化を検知する。検知に必要なしきい値もAI（人工知能）が自動で生成する。状況はダッシュボードにまとめて表示されるため、複数設備を定量的に監視できる。警告灯やメールによる通知も可能だ。

　さらに、TEDが提供する判別モデル自動生成マシン「CX-M」と連携させれば、設備の状態診断が可能になる。CX-Mによる分析結果と実際の事象をすり合わせて新しい診断基準（推論モデル）を生成。その診断基準をCX-D上で実行することで、精度の高い状態診断ができるとしている。

　導入企業が短期間にシステムを稼働・運用できるよう、データ収集などの機能や仕組みも集約して提供する。データ収集では、種々のPLCやセンサーを接続するための設定をあらかじめ用意する。監視用ダッシュボードも設備ごとにカスタマイズができる。